仪器仪表工业是信息工业，是信息的源头，是认识世界的工具，是人们用来对物质(自然界)实体及其属性进行观察、监视、测定、验证、记录、传输、变换、显示、分析处理与控制的各种器具与系统的总称，其实质是研究信息的获取、处理和利用。仪器仪表发展至今已成为一门独立的学科，即仪器科学与技术，而现代精密仪器则是仪器科学与技术的一个重要组成部分。 当今科学仪器技术最引人注目的发展是在生物、医学、材料、航天、环保、国防等直接关系到人类生存和发展的诸多领域中，研究的尺度深入到介观(纳米)和微观；仪器的研制和生产趋向智能化、微型化、集成化、芯片化和系统工程化；利用现代微制造技术(光、机、电)、纳米技术、计算机技术、仿生学原理、新材料等高新技术发展新式的科学仪器已经成为主流，为精密仪器设计提出了新的研究课题。 随着科学技术的进步，特别是微电子技术、宇航工业、材料科学、生物工程等的发展，使精密仪器已进入亚微米、纳米级的新时代，为精密仪器提供了广泛的研究领域。为适应科技发展的需要，赶上世界科技进步的步伐，提高我国精密仪器的水平，本书从实际应用出发，参照全国精密仪器设计的教学大纲编写而成。书中总结了编著者长期的教学经验与科研工作成果，汇集了有关现代精密仪器设计理论和成果，着力反映了这一学科领域的当代发展水平，使读者充分了解和掌握精密仪器的学术动态和最新成就。同时力图做到概念清楚、深入浅出，对精密仪器设计有关的共同性理论和方法进行了系统、全面地阐述。每章有设计实例和习题，目的是便于学生自学并启发学生的创造性。 “精密仪器设计”是以设计为主的专业课程，其目的是使学生综合运用基础理论知识，掌握光、机、电、算相结合的现代仪器仪表设计理论和方法，以培养学生独立设计与研究现代精密仪器及微纳米系统的能力。 根据高等学校仪器科学与技术教学指导委员会测控技术与仪器专业本科教学规范的要求，以及本教材的实际使用情况和建议，第2版对第1版中的部分内容进行了修订： (1) 按测控技术与仪器专业本科教学规范，缩减“微型机电系统”一章，其内容在其他教材另行详细、充分阐述； (2) 增加光电传感技术的有关内容，以更多地满足测控学科和专业教育教学要求； (3) 瞄准与对准系统讲述测量基准，定位与测量系统分析测量方法，因此将二者整合为“精密测量技术”，以便对测量有更全面、整体的理解； (4) 增加“精密仪器设计实例与实验”一章，利用典型实例阐述现代仪器设计方法，加强仪器设计的实践环节； (5) 调整“自动调焦系统”一章，有关知识在第10章中以实例方式阐述说明。 具体内容如下： 第1章 现代精密仪器设计概论 阐述了仪器仪表学科的重要性和我国以及国际上这一学科当代的发展水平与发展趋势；介绍了仪器仪表的组成、设计与原则。 第2版前言现代精密仪器设计（第2版）第2章 精密仪器设计方法 总体设计是“战略”性的、方向性的、把握全局性的设计。由于总体设计是一个战略性的工作，其优劣直接影响到精密仪器的性能和使用，所以总体设计是创造性的工作，特别是现代精密仪器，是光、机、电、算技术的综合。在进行总体设计时，设计者要有创新的观念，要充分运用科学原理和设计理论。本章介绍了几种设计方法，对总体设计原则、方法及总体方案制定内容通过实例进行了讨论。 第3章 仪器精度设计与分析 精度（不确定度）是精密仪器及精密机械设备的核心技术指标。随着科学技术的发展，对于精密机械及精密仪器的精度提出了愈来愈高的要求。本章介绍了精度的概念、精度评价方法、误差的来源及计算与分析方法、误差的综合及动态精度，为现代精密仪器的设计打下了基础。 第4章 精密机械系统 精密机械系统是实现精密仪器高精度的基础，特别是当代科技发展已进入纳米时代，对仪器功能和精度提出了更高要求，因此对机械系统的设计与制造应给予高度重视。本章主要对精密机械系统中的关键部分设计（包括基座与支承件、导轨、轴系等）进行了阐述，着重讨论了影响系统精度和性能的因素及提高精度的措施。 第5章 传感检测技术 光电传感为精密仪器的检测、分析提供数据来源，直接影响仪器功能及性能。本章主要介绍了精密仪器中常用的传感系统检测方法、系统构成、传感器选择以及抗干扰技术等。希望通过本章的学习读者能够对传感检测相关技术有清晰的了解，并掌握传感器选择方法以及抗干扰技术。 第6章 光学系统设计 光学系统在现代仪器尤其是光学仪器中起着越来越重要的作用。光学系统既是使仪器走向高精度测量不可或缺的部分,随着视觉技术的发展，光学系统也必然成为很多常规仪器的核心内容。本章在光学系统构成基础上,讲述了光学系统各构成部分的设计思路,重点讲述了光学照相、显微、望远及照明系统的设计方法。最后以傅里叶变换红外光谱仪为例说明了光学系统的总体设计方法。 第7章 微位移技术 微位移技术是实现精密仪器亚微米、纳米级精度的关键技术。本章阐述了微位移驱动方法及分类，介绍了各种微位移器件的原理、特点及其应用，分析了各种微位移系统的设计方法、优缺点、适用范围及达到的精度，特别是对柔性铰链微位移系统作了全面的论述，同时还介绍了目前世界上多种先进、实用的微位移机构，供设计者参考。 第8章 机械伺服系统设计 伺服系统是实现精密仪器智能化、自动化的基础。为了实现精密仪器系统高效率、高精度、稳定运动的要求，伺服控制系统必须具有很好的快速响应性，能灵敏地跟踪指令，以达到运动精度及稳定性的要求。本章介绍了伺服控制系统的分类、组成、设计要求及性能指标，阐述了精密机电传动系统静态参数设计与动态分析、开环与闭环伺服系统设计原理，并给出了应用实例。 第9章 精密测量技术 瞄准与对准系统是精密仪器及光学仪器中的重要组成部分。精密仪器的核心问题是精度问题，瞄准与对准是精密仪器的基准，因此瞄准与对准精度将直接影响仪器精度，特别是对高精度仪器影响更大。本章介绍了瞄准与对准系统的用途与性能，对目前通用接触式和非接触式瞄准方法进行了全面论述。另外，精密仪器精度高低，除精密机械部分运动精度外，很大程度上还取决于其定位系统，因此定位测量也是精密仪器中的一个重要组成部分，特别是对高精度仪器尤为重要。本章重点论述了目前大量应用的高精度光栅及激光干涉定位系统，并对该系统的设计和特点等问题进行了详细分析与讨论。 第10章 精密仪器设计实例与实验 本章以线宽测量自动调焦系统、基于光学立体显微镜的微装配系统为例，对精密仪器设计的过程、方法进行了说明；并利用精密仪器设计综合实验对仪器应用及技术进行了实践分析。 本书是在普通高等教育“十五”国家级规划教材、北京高等教育精品教材《现代精密仪器设计》（清华大学出版社，2004）的基础上，依据科学进步与教学经验进行改编的。其中，第1, 2, 7, 9, 10章由李玉和编写，第4, 5, 8章由郭阳宽编写，第6章由王东生编写，第3章由王鹏编写，全书由李玉和统稿，李庆祥教授主审。本书编写过程中得到李庆祥教授、王东生教授、訾艳阳博士的大力支持和帮助，在此表示感谢！ 本书可供高等工科院校测控技术与仪器、电子精密机械、机电一体化及光学仪器等专业师生使用，同时也可供从事精密仪器与机械及微纳米机电系统的研究、设计、制造、使用和调修的工程技术人员学习和参考。 由于编者水平有限，书中难免有不妥甚至错误之处，殷切希望读者提出宝贵意见。 编者2009年10月于清华园

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