图书简介
本书共分6篇12章，系统介绍了微加工技术工艺原理和实验教程。本书内容理论和实验相结合，涵盖了微加工技术工艺中的光刻、刻蚀、薄膜沉积、氧化和掺杂等工艺。理论部分着重对各种工艺技术的原理进行阐述。实验部分列举了光刻、刻蚀、薄膜制备和掺杂四大类工艺的单项实验，器件制造工艺实验和器件特性测量实验。本书对初步涉足这一领域的高等院校本科生、研究生以及相关科研人员、工程技术人员具有很好的参考价值，可作为高等院校微电子科学与技术、光电信息科学与工程、电子科学与技术、电子信息工程等专业本科生或研究生的相关课程教材。