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激光热敏光刻:原理与方法

作者:魏劲松

定价:129元

ISBN:9787302607458

出版日期:2022.08.01

版次:1-1

印刷日期:2022.08.26

光刻是集成电路的核心,本书独辟蹊径,突破传统思维,从原理上进行创新,不同于现有的光致感光曝光光刻,提出激光热敏光刻,并系统描述了原理和方法。

内容介绍

本书首先对目前各种光刻技术的原理、方法和特点进行描述与分析比较,由此引出本书的主题——激光热敏光刻; 然后详细阐述激光热敏光刻的物理过程、仪器系统、光刻策略、用于**光斑尺寸的纳米光刻、跨尺度光刻、宽波段光刻、分辨率极限光刻、灰度图形光刻,以及图形转移的方法和相应的实验结果及应用事例。希望本书阐述的内容能从另一个角度分析和理解光刻,从而给目前的光刻技术带来变革性影响,以满足未来个性化和智能化的微电子芯片与微纳结构光电子器件的需求。