本专著主要面向高分辨的扫描探针显微技术，重点是原子力显微镜、开尔文探针力显微镜（KPFM）关键技术及典型应用领域，解决KPFM在测量过程中的耦合，提高系统的检测灵敏度，实现材料原子级高精度与高可靠性测量，为扫描探针技术在精密测量物理领域的基本常数高精度测量提供更为精准的工具和方法。