微系统（MEMS）是一门多学科高度交叉的前沿学科领域，其设计、制造和应用广泛涉及到物理学、化学、力学、微电子学、电子学、光学、生物医学和控制工程等多个学科。本书介绍微系统的基础理论、分析设计方法和制造技术，以及前沿应用领域的多种典型器件。主要内容包括： 微系统基本力学、微系统制造技术、微型传感器、微型执行器、射频微系统（RF MEMS）、光学微系统（MOEMS）、生物医学微系统（BioMEMS）以及微流体与芯片实验室。本书强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合，在基础理论和制造技术的基础上，深入介绍典型器件的设计和制造方法以及重点和前沿应用研究领域，力争展示微系统的全貌。 本书可供高等院校电子、微电子、微机电系统、测控技术与仪器、精密仪器、机械工程、控制工程等专业的高年级本科生、研究生和教师使用，也可供相关领域的工程技术人员参考。

Preface微型化是当今科学技术的重要发展方向。实现微型化和利用微型化的重要途径之一是利用微系统技术。微系统（也称微电子机械系统，MEMS）起源于集成电路制造技术，通过在芯片上集成制造微机械、微结构、微传感器、微执行器、信号控制处理电路等功能器件和单元，实现测量、驱动、能量转换等多种功能。微系统的出现使芯片远远超越了以处理电信号为目的的集成电路，将其功能拓展到机、光、热、电、化学和生物等领域。广义地讲，集成电路是电子线路系统的微型化，而其他领域的微型化都可以划分在微系统的范畴。 微系统具有微型化、集成化、智能化等特点，与宏观系统相比，能够大批量生产，成本低、性能高，甚至能够实现宏观系统所无法实现的功能，符合并促进了科学技术的发展方向，因此已经广泛应用于仪器测量、无线和光通信、能源环境、生物医学、军事国防、航空航天、汽车电子以及消费电子等多个领域，已经并将继续对人类的科学技术和工业生产产生深远的影响。 微系统是一门多学科高度交叉的前沿学科领域，其设计、制造和应用广泛涉及到物理学、化学、力学、电子学、光学、生物医学和控制工程等多个学科。由于微系统涉及内容广泛，大量借用了相关学科的基础理论，因此微系统本身的理论体系不够系统。尽管微系统已经发展出自己相对独立的设计和制造方法，但是从严格意义上讲，微系统领域纷繁繁杂以至于它本身不是一个真正独立的学科，而是一个开放式的系统。这些特点为学习、研究和应用微系统带来了困难。尽管如此，微系统仍旧具有一些重要的共性基础知识，通过掌握这些基础知识，可以逐渐深入地掌握微系统的内容。 本书的目的是尝试提供一本具有一定深度和广度的微系统专业教材，探索...