作者简介
伍强,1993年于复旦大学获物理学学士学位,1999年于耶鲁大学获物理学博士学位。毕业后就职于IBM公司,担任半导体集成电路光刻工艺研发工程师,在研发65nm逻辑光刻工艺时,在世界上首次通过建模精确地测量了光刻工艺的重要参数:等效光酸扩散长度。2004年回国,先后担任光刻工艺研发主管、光刻设备应用部主管,就职于上海华虹NEC电子有限公司、荷兰阿斯麦(ASML)光刻设备制造(中国)有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、中芯国际集成电路新技术研发(上海)有限公司和上海集成电路研发中心。先后研发或带领团队研发0.18 ?m、0.13 ?m、90 nm、65 nm、40 nm、28 nm、20 nm、14 nm、10 nm等逻辑光刻工艺技术和0.11 ?m 动态随机存储器(DRAM)光刻工艺技术,带领设备应用部团队将193 nm浸没式光刻机成功引入中国。截至2019年5月,共获得114项专利授权,其中26项美国专利,单独或带领团队发表光刻技术论文52篇。担任国家“02”重大专项光刻机工程指挥部专家,入选“2018年度上海市优秀技术带头人”计划,2007-2009年 担任ISTC(国际半导体技术大会)光刻分会主席。2010年-2019年担任CSTIC(中国国际半导体技术大会)光刻分会副主席。
