"陈军，中山大学教授、博士生生导师。长期从事真空微纳电子器件研究工作，讲授“微纳电子器件”“数字电路与逻辑设计”等课程。发表SCI期刊论文250余篇，编著教材一部。主持完成国家自然科学基金委杰出青年基金、国家重点研发计划项目等科研项目。获国家自然科学奖二等奖、全国优秀博士学位论文等奖励。
黄展云，中山大学实验师。长期从事微电子工艺实验室管理和微加工实验教学工作，讲授“微加工工艺实验”“光电器件集成技术实验”等课程。发表教学论文2篇，出版半导体工艺与测试方面教材1部。
张宇，中山大学教授、博士生导师。长期从事微纳加工、微纳电子器件和集成电路装备关键部件等的教学和科研工作，讲授“微加工技术”“微纳电子器件与集成技术”等课程，获校级课程思政示范课和教学成果二等奖。主持国家自然基金面上/青年项目4项，作为学术骨干参与国家重大研究计划项目4项。发表SCI 论文60余篇，申请专利10项，授权6项。
卢星，中山大学副教授、硕士生导师。长期从事半导体材料与器件的教学和科研工作，讲授“微纳电子器件”“微加工工艺实验”“半导体特性表征方法与技术”等课程。发表SCI源刊论文60余篇，主持或参与国家、省部级科研项目10余项，出版化合物半导体方面的全英文著作1部。
王冰，中山大学副教授、博士生导师。长期从事化合物半导体异质外延生长和光电混合集成技术研究，承担本科生的“光电器件集成技术实验”课程教学，积累了丰富的半导体光电器件制造和测试的实验授课经验。近5年发表SCI源刊论文10多篇，承担国家重点研发计划任务2项。
陈晖，博士，中山大学实验师。长期从事集成电路制造和光电子芯片制造的教学和科研工作，讲授“集成电路工艺实验”“微加工工艺实验”等课程。 合著半导体工艺方面的教材1部。"