1现代精密仪器设计概论1

1.1概述1

1.2现代精密仪器的基本组成7

1.3现代精密仪器设计的指导思想、原则与程序11

思考题14

2精密仪器总体设计15

2.1设计方法概述15

2.2设计任务分析23

2.3主要参数与技术指标24

2.4总体方案的制定34

思考题58

3精密仪器设计的精度理论60

3.1仪器精度理论中的若干基本概念60

3.2仪器误差的来源与分析76

3.3仪器误差的计算分析方法82

3.4仪器误差的综合89

3.5仪器精度设计与误差分配95

3.6仪器的动态精度98

思考题与习题105

4精密机械系统111

4.1基座与支承件111

4.2精密xy工作台115

4.3主轴系统125

思考题与习题138

5微位移技术139

5.1概述139

5.2压电、电致伸缩器件151

5.3电磁控制的微动工作台158

5.4柔性铰链163

5.5精密微动工作台的设计及其特性分析172

5.6其他类型的微位移机构184

思考题与习题189

6光学系统设计192

6.1概述192

6.2光辐射源及特征193

6.3信噪比的计算方法201

6.4光学系统基本参数的确定205

6.5光电系统中参数的确定235

6.6总体设计举例241

思考题与习题247

7定位与测量系统249

7.1概述249

7.2光栅定位测量系统251

7.3激光干涉定位测量系统290

7.4其他编码器324

思考题与习题338

8瞄准与对准系统341

8.1接触式瞄准方法342

8.2非接触式瞄准方法353

8.3光电自动对准系统367

思考题与习题388

9自动调焦系统392

9.1概述392

9.2图像处理自动调焦方法 395

9.3图像清晰度判据函数的选取399

9.4气动调焦方法404

9.5其他自动调焦方法411

9.6自动调焦系统设计实践424

思考题与习题431

10精密机械伺服系统设计434

10.1概述434

10.2精密机电传动系统的静态参数设计与动态分析442

10.3开环与闭环伺服系统的设计原理453

10.4应用实例——高精度低速伺服转台设计484

思考题与习题492

11微型机电系统495

11.1概述495

11.2微机械的机械物性基础500

11.3微驱动器517

11.4微型传感器526

11.5微型机电系统534

11.6微型机械设计实践539

思考题547

参考文献548