"（1） 内容丰富，体系完整，系统介绍微加工工艺技术原理和实验教学案例，包括微加工工艺技术的基本概念、物理原理、设备组成、工艺实验流程等，理论与实验紧密结合，读者易于获得整体认知。
（2） 目标读者群体定位清晰，原理清晰易懂，用词准确简明，以直白形象的讲述风格贯穿始终。尽量减少公式推导，辅以大量的图表，做到深入浅出。
（3） 提供的工艺集成的典型器件制备和测试分析案例，源自编者多年实验教学的积累，具有很强的可操作性和可复现性，能够准确映照理论知识。在实践中学习，不仅趣味性强，还能加强和巩固理论知识。
（4） 工艺实验案例后都附有思考题和注意事项，在实验中复盘理论知识，查漏补缺，帮助读者掌握科学的分析问题和解决问题的能力。
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