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基于工业界实际研发和应用经验,以产业界视角,从原理到应用、涵盖集成电路先进和成熟技术节点、三位堆叠、先进封装、和化合物半导体,全面覆盖集成电路中湿法和电镀技术对应的工艺和设备。