从20世纪90年代中期以来，Microsensors（微传感器）以及在微传感器基础上发展起来的MEMS（微机电系统）已经逐渐被人们所熟悉，并越来越受到重视，目前已成为国际上的研究热点。由于认识到发展微传感器及MEMS是信息化进程的重要内容，它们在现代工业、农业、交通、生物、医学、航空、航天、国防以及日常生活和家电等领域都有重要与广泛的应用，因此微传感器及MEMS也同样成为我国信息科技与产业的重点研究与发展对象。

微传感器和MEMS与现代微纳米科技密切相关，它们的制作技术就是在现代微电子制作技术的基础上发展形成的。微电子制作技术是一种二维的平面微加工技术，而微传感器和MEMS则是三维的立体加工技术。微传感器与微机电系统是一门与电子学、物理学、化学、生物学、医学、材料科学等多学科交叉的高新技术，而微动力学、微静力学、微流体力学、微传热学、微光学、微声学、生物化学、微分析等都是发展微传感器与微机电系统必须研究的课题。本书的目的就是向大家阐述这方面的知识、理论与技术。

本书内容丰富，主要论述微传感器及微机电系统的结构、原理、特性、制作方法与工艺技术。例如在材料与制作技术方面，介绍了微电子学中各种薄膜材料和制备方法，以及重要的微电子工艺技术（标准的硅平面工艺），讲述了两类重要的硅三维加工技术，即体微加工技术与表面微加工技术。此外，重点介绍了三维光刻技术。在器件与系统方面，论述了热、辐射、力、声、磁、生物等多类传感器的结构、原理与特性，并且重点介绍了叉指式声表面波传感系统以及智能型传感系统。这些内容都是目前研究的前沿课题。

本书作者是来自于英国和美国的三位教授，他们在微传感器、微机电系统以及智能（灵巧）器件方面都有深厚的研究基础和教学经验，都发表过大量的学术论文并著有多部有关书籍，是该领域的知名学者。本著作的写作方法也颇具特色，避免了过多的推导，而着重于物理概念的阐述，不但使那些对本著作内容比较熟悉的微电子学与电子工程的学生，而且对于其他专业，如机械工程、物理学、材料科学甚至生物科学的学生都能很好地理解和接受。

该著作不但可以作为相关专业大学高年级学生和研究生的教材与参考书，而且对于在微传感器与微机电系统方面感兴趣的科学家、工程师、技术人员都是很有价值的参考书。