本书系统介绍了气敏、湿敏、热敏、磁敏、力敏、光敏和离子敏等半导体敏感元件与传感器的工作原理、制作工艺、特性参数及其应用举例,并介绍了半导体传感器技术的新发展。全书内容丰富,特色鲜明,各章后配有习题。
本书适合用作高等学校电子科学与技术、电子信息科学与技术、微电子学等专业相关课程的教材,也可供从事半导体传感器技术、微电子技术研究的工程人员参考。