"本书内容包括第3代半导体材料、新型半导体器件、设计工具与设计方法、集成电路工艺技术等，涵盖了从半导体材料、器件、设计到工艺技术，立足微电子技术前沿的**技术成果，以培养创新实践能力为主线，将专业教育与创新实践教育有机融合，以培养创新创业精神为核心，为微电子专业提供了**的技术成果，是微电子专业的创新与实践的**指导书。

本书内容翔实，论述深入浅出，可作为职业院校和高等院校微电子技术相关专业的专科、本科和研究生的教材，也可作为电子制造工程师的参考书和电子企业教育培训的教材。

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