中文版序言

PREFACE

1959年12月美国物理学家、诺贝尔奖得主、Richard Feynmnan发表的著名演讲昭示了微机电系统(micro electro mechanical systems，MEMS)的来临。微机电系统是指可以批量制造的，集微结构、微传感器、微执行器以及信号处理和控制电路等于一体的器件或系统，具有体积小、质量轻、功耗低、批量生产等显著特征。微机电系统技术是一个交叉学科领域，融合了机械、电子、材料、物理、化学、控制、工艺等多个学科，涵盖了微惯性器件、微光学器件、微化学和生物芯片、射频器件和能源器件等多个应用领域。在微纳米见方的面积上集成了传感、转换、处理和执行等多项功能，改变了人类感知和控制世界的方式。因此，MEMS自20世纪80年代中后期崛起以来，受到了发达国家国防部门的高度重视。到2010年，MEMS产品的销售额达到80亿美元，并以每年10％以上的速度增长。

到目前为止，国内还没有系统阐述微机电系统技术在航天应用方面的参考书。由Robert Osiander、M. Ann Garrison Darrin和John L. Champion三位教授主持编著的MEMS and Microstructures in Aerospace Applications这本书，是联合了James J. Allen等十几位知名教授根据他们自己在微机电系统技术及其在航天领域应用方面多年的研究成果并总结完成的专著。内容主要涵盖了微机电系统技术本身、微机械结构、器件（部件）和系统在航天领域应用中需要特别考虑和研究的方方面面，具体包括： ①微机电部件和系统技术概论； ②微机电系统技术在航天的使命； ③微细加工工艺； ④空间环境和太空辐射对航天用微机电器件的影响； ⑤MEMS技术在航天系统、仪器、通信、热控、导航、推进等方面的应用； ⑥MEMS封装、材料、可靠性和测试验证在航天应用中的考虑。总的来看，这本书基本概念比较清楚，内容丰富，具有一定的参考价值，适合航天、航空和MEMS技术领域的设计师、工程师、管理者和高校院所相关学科的科研人员、高年级本科生、研究生和相关科技人员阅读。

清华大学尤政教授长期从事精密仪器特别是MEMS技术方面的教学和科研工作，对国内MEMS技术研发和产业化发展常有独到而敏锐的见解，这一次又适时地把这本书介绍到国内，值得赞赏，同时也向为翻译该书付出辛勤劳动的有关师生表示敬意。

希望本书的出版对有志从事MEMS特别是MEMS在航天领域应用技术研发的科技人员有所帮助。

 2013年5月