前言

近年来，随着5G移动通信技术、计算机技术、互联网技术和数字多媒体技术的迅猛发展，微电子技术的发展也日新月异。我国各级政府对集成电路产业重要性的认识不断深入，多层次多角度全方位地支持集成电路产业发展。21世纪将是微电子和光电子共同发挥越来越重要作用的时代，是电子科学与技术飞速发展的时代，是技术创新和变革的时代。

本书围绕着微电子技术前沿的最新技术成果，内容涉及半导体材料、新型半导体器件、集成电路设计工具与设计方法、集成电路工艺与封装技术等几个部分，涵盖了从材料、器件、设计到封装制造的最新集成电路工具和技术，以培养创新实践能力为主线，将专业教育与创新实践教育有机融合，以培养创新创业精神为核心，为微电子专业提供最新的技术成果，是微电子专业的创新与实践的最佳指导书。可作为职业院校和高等院校的微电子技术相关专业的专科、本科和研究生的教材，也可作为电子制造工程师的参考书和电子企业教育培训的教材。

在本书编写过程中，非常感谢以下人员协助对本书内容的整理和审校工作：王焱、倪立强、谭康、张长胜、臧涛、胥世俊、汤勇、翦彦龙。

微电子技术的发展一日千里，尽管竭尽一切可能保证本书内容的准确性，但仍难免出现各种疏漏，恳请各位读者批评指正。

陈力颖2020年4月于英国坎特伯雷