前言

随着科学技术的不断进步，传感器逐渐向集成化、多功能化和智能化方向发展。半导体传感器是利用半导体材料的各种物理、化学和生物学特性制成的传感器，具有体积小、响应快和灵敏度高等优点，便于实现集成化、多功能化和智能化。因此，半导体敏感元件与传感器受到人们的普遍重视。目前，传感器相关教材很多，但全面、深入地介绍半导体敏感元件与传感器的教材较少，不能满足高等学校电子科学与技术、电子信息科学与技术、微电子学等专业教学的需要。为此，编者编写了本书，以满足大家学习半导体传感器技术的愿望。

全书共分为9章。第1章介绍传感器的基础知识，第2章介绍半导体传感器常用的敏感材料及典型工艺，第3~9章依次系统阐述气敏、湿敏、热敏、磁敏、力敏、光敏和离子敏等半导体敏感元件与传感器的工作原理、制作工艺及应用。

本书第1、2、5、7、9章由李新编写，第3、4章由魏广芬编写，第6、8章由吕品编写，全书由李新统稿。

本书在编写和出版过程中，得到了清华大学出版社的支持，在此表示真挚的感谢。同时，对本书参考的文献资料的作者致以诚挚的谢意。由于编者水平有限，书中难免有不当和错误之处，敬请读者批评指正。

编者2018年3月