微传感器、微机电系统（MEMS，micro-electro-mechanical systems）正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统（microsystems）或片上系统（system-on-a-chip）将微电子电路和微执行器结合在一起，形成有广泛应用领域的新的研究热点。 本书内容丰富，主要论述微传感器及微机电系统的结构、原理、特性、制作方法与工艺技术。例如在材料与制作技术方面，介绍了微电子学中各种薄膜材料和制备方法，以及重要的微电子工艺技术（标准的硅平面工艺），讲述了两类重要的硅三维加工技术，即体微加工技术与表面微加工技术。此外，重点介绍了三维光刻技术。在器件与系统方面，论述了热、辐射、力、声、磁、生物等多类传感器的结构、原理与特性，并重点介绍了叉指式声表面波传感系统以及智能型传感系统。 本书系统介绍微传器技术，并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来，适合微电子领域的高年级学生和研究人员、微传感器系统方面的工程师和开发人员阅读，对于机械、物理和材料方面的科研人员也很有参考价值。

从20世纪90年代中期以来，Microsensors（微传感器）以及在微传感器基础上发展起来的MEMS（微机电系统）已经逐渐被人们所熟悉，并越来越受到重视，目前已成为国际上的研究热点。由于认识到发展微传感器及MEMS是信息化进程的重要内容，它们在现代工业、农业、交通、生物、医学、航空、航天、国防以及日常生活和家电等领域都有重要与广泛的应用，因此微传感器及MEMS也同样成为我国信息科技与产业的重点研究与发展对象。 微传感器和MEMS与现代微纳米科技密切相关，它们的制作技术就是在现代微电子制作技术的基础上发展形成的。微电子制作技术是一种二维的平面微加工技术，而微传感器和MEMS则是三维的立体加工技术。微传感器与微机电系统是一门与电子学、物理学、化学、生物学、医学、材料科学等多学科交叉的高新技术，而微动力学、微静力学、微流体力学、微传热学、微光学、微声学、生物化学、微分析等都是发展微传感器与微机电系统必须研究的课题。本书的目的就是向大家阐述这方面的知识、理论与技术。 本书内容丰富，主要论述微传感器及微机电系统的结构、原理、特性、制作方法与工艺技术。例如在材料与制作技术方面，介绍了微电子学中各种薄膜材料和制备方法，以及重要的微电子工艺技术（标准的硅平面工艺），讲述了两类重要的硅三维加工技术，即体微加工技术与表面微加工技术。此外，重点介绍了三维光刻技术。在器件与系统方面，论述了热、辐射、力、声、磁、生物等多类传感器的结构、原理与特性，并且重点介绍了叉指式声表面波传感系统以及智能型传感系统。这些内容都是目前研究的前沿课题。 本书作者是来自于英国和美国的三位教授，他们在微传感器、微机电...