第1章概述1

1.1半导体制造过程1

1.2半导体生产线运作总体框架7

1.2.1物理系统7

1.2.2信息系统10

1.3半导体生产线调度11

1.3.1调度特点11

1.3.2调度类型与调度方法13

1.3.3评价指标16

1.4半导体制造系统调度体系结构18

1.4.1组件化可重构半导体生产线调度体系结构19

1.4.2半导体生产线调度仿真系统通用结构模型21

1.4.3基于数据的动态建模方法23

1.4.4组件化半导体生产线调度仿真系统24

1.5小结27

第2章智能化调度方法28

2.1计算智能简介28

2.1.1计算智能起源28

2.1.2计算智能的分类及特点29

2.2遗传算法30

2.2.1遗传算法简介30

2.2.2遗传算法求解流程31

2.2.3基于遗传算法的单机调度问题求解35

2.3免疫算法36

2.3.1免疫算法简介37

2.3.2免疫算法基本流程38

2.3.3基于免疫算法的多目标柔性作业车间调度问题求解39

2.4分布估计算法41

2.4.1分布估计算法简介41

2.4.2分布估计算法基本流程43

2.4.3基于分布估计算法的流水车间调度44

2.5蚁群优化算法46

2.5.1蚁群优化算法简介46

2.5.2蚁群优化算法模型及基本流程47

2.5.3基于蚁群优化算法的作业车间调度问题求解48

2.6Memetic算法50

2.6.1Memetic算法简介50

2.6.2Memetic算法求解流程50

2.6.3基于Memetic算法的车间动态调度问题求解55

2.7小结57

第3章智能化投料控制策略58

3.1概述58

3.1.1常用投料控制策略59

3.1.2改进的投料控制策略65

3.2混合智能优化投料控制策略66

3.2.1基于混合智能算法的投料控制68

3.2.2混合智能算法运行效果及性能分析73

3.3基于Memetic算法的投料控制策略77

3.3.1Memetic算法及SBOI平台介绍77

3.3.2基于SBOI平台的投料控制实例79

3.4小结87

第4章瓶颈设备智能化调度89

4.1约束理论89

4.1.1TOC的原理90

4.1.2TOC对生产系统的计划与控制步骤92

4.1.3TOC在生产计划与管理方面的优势95

4.2瓶颈设备识别方法96

4.2.1瓶颈设备定义97

4.2.2瓶颈设备定量识别算法99

4.2.3瓶颈设备辨识算法100

4.2.4瓶颈设备管理101

4.3基于GA的瓶颈设备调度方法102

4.3.1遗传算法的应用102

4.3.2基于GA的瓶颈设备调度验证107

4.4基于ACO的瓶颈设备调度方法112

4.4.1概述112

4.4.2MiniFab半导体生产线调度问题113

4.4.3基于ACO算法的瓶颈区排程方法114

4.5小结120

第5章批加工设备智能调度121

5.1概述121

5.2批加工设备调度描述122

5.2.1单台批加工设备调度122

5.2.2并行批加工设备调度125

5.2.3带有批加工设备的半导体生产线动态调度128

5.3基于ACO的批加工设备调度方法133

5.3.1概述133

5.3.2问题假设134

5.3.3基于ACO的半导体生产线批加工区调度方法135

5.4基于柔性ACO的批加工设备调度方法143

5.4.1柔性蚁群算法143

5.4.2需求分析148

5.4.3算法设计149

5.4.4算法实现149

5.5基于ACOICSA的批加工设备调度151

5.5.1免疫克隆选择算法151

5.5.2基于ACOICSA融合算法的单台批加工设备调度研究152

5.6小结159

第6章半导体生产线智能化调度方法161

6.1概述161

6.2基于ACO的单瓶颈半导体生产线调度方法164

6.2.1调度模型164

6.2.2基于蚁群算法的一体化调度165

6.2.3仿真分析171

6.3基于MultiACO的多瓶颈半导体生产线调度方法174

6.3.1概述174

6.3.2MiniFab半导体生产线调度问题175

6.3.3基于MultiACO的多瓶颈加工区排程方法176

6.4基于ACOICSA的多瓶颈半导体生产线调度方法181

6.4.1概述181

6.4.2MiniFab半导体生产线调度问题181

6.4.3基于ACOICSA的瓶颈区排程方法182

6.5小结186

附录A专业词语汇总表187附录B模型介绍191B.1HP24模型介绍191

B.2MiniFab模型介绍193

B.3某6寸生产线简化模型介绍194

参考文献196