本书共16章，主要内容包括：概论，微机电系统技术在航天任务中的应用前景，MEMS加工技术，空间环境因素对MEMS技术的影响，空间辐射影响和微机电系统，MEMS技术在空间系统的应用，微加工技术在科学仪器方面的应用，微机电系统在航天器通信中的应用，航天器热控制中的微系统，航天器制导、导航和控制中的微系统，微推进技术，空间应用的MEMS封装技术，关键性空间应用的处理与污染控制考虑，MEMS应用的材料选择，基于空间的MEMS设计和应用的可靠性测试，航天微机电系统与微结构的保障方法等。 本书适合航天、航空和MEMS技术领域的设计师、工程师、管理者和高校院所的相关学科的科研人员、高年级本科生、研究生和相关科技人员阅读。

中文版序言 PREFACE 1959年12月美国物理学家、诺贝尔奖得主、Richard Feynmnan发表的著名演讲昭示了微机电系统(micro electro mechanical systems，MEMS)的来临。微机电系统是指可以批量制造的，集微结构、微传感器、微执行器以及信号处理和控制电路等于一体的器件或系统，具有体积小、质量轻、功耗低、批量生产等显著特征。微机电系统技术是一个交叉学科领域，融合了机械、电子、材料、物理、化学、控制、工艺等多个学科，涵盖了微惯性器件、微光学器件、微化学和生物芯片、射频器件和能源器件等多个应用领域。在微纳米见方的面积上集成了传感、转换、处理和执行等多项功能，改变了人类感知和控制世界的方式。因此，MEMS自20世纪80年代中后期崛起以来，受到了发达国家国防部门的高度重视。到2010年，MEMS产品的销售额达到80亿美元，并以每年10％以上的速度增长。 到目前为止，国内还没有系统阐述微机电系统技术在航天应用方面的参考书。由Robert Osiander、M. Ann Garrison Darrin和John L. Champion三位教授主持编著的MEMS and Microstructures in Aerospace Applications这本书，是联合了James J. Allen等十几位知名教授根据他们自己在微机电系统技术及其在航天领域应用方面多年的研究成果并总结完成的专著。内容主要涵盖了微机电系统技术本身、微机械结构、器件（部件）和系统在航天领域应用中需要特别考虑和研究的方方面面，具体包括： ①微机电部件和系统技术概论；...