本书以半导体制造系统为研究对象，在全面分析其调度特点的基础上，详细解剖、分析半导体制造系统各类调度问题，运用智能化方法设计了相应的求解方案，并通过实例给出了各类调度问题智能化解决方案的实际使用方法。本书在认真总结国内外多年的半导体制造系统智能调度研究成果的基础上，结合作者多年在制造系统智能调度，特别是半导体制造系统智能调度领域的研究与应用成果，对复杂的半导体制造系统智能调度问题从理论到方法再到应用进行了全方位、系统化的论述。 本书可供从事半导体制造系统计划、调度和优化等相关领域研究工作的科研人员，自动控制、工业工程等专业研究生和教师，制造管理及微电子制造行业生产管理或工程技术人员等阅读和参考。

调度是一个相当普遍的问题，其本质是通过对有限资源的合理配置，寻求系统目标的最大化。由于资源（包括物质资源、时间资源）限制与目标（如产量、效率、速度等）追求之间存在着广泛且多样的客观矛盾，因此，长期以来，调度问题一直是学术界与应用界的研究热点之一。 尽管调度问题的实际表象有多种，如生产系统调度、交通运输调度、人员时间调度、项目进度调度等，但制造系统调度毫无疑问是众多调度问题中受关注最多、研究时间最长的一类问题。制造系统调度是企业生产活动组织和管理的中心，是提高企业综合效益的有效途径。它对提高企业生产管理水平、节省成本、改进服务质量、提高企业竞争力、快速收回投资以及获得更高的经济效益有着十分重要的意义。借助于先进的生产计划与调度方法，可以在不增加或少增加投入的基础上使企业提高产出，获得更大的利润及投资回报率。 自1954年约翰森发表了第一篇关于生产调度的经典论文以来，制造系统的调度问题经历了单机调度、多机调度、流水车间（Flow Shop）调度、作业车间（Job Shop）调度、柔性制造系统（Flexible Manufacturing System, FMS）调度等由简单到复杂的发展过程。其间，大量相关研究工作及成果的积累也进一步奠定了制造系统调度在调度研究领域中举足轻重的地位。如果说调度领域内许多早期的工作是在制造业的推动下发展起来的，那么不断产生于制造业的实际问题还在进一步为调度的研究与发展提出新的挑战。随着经典调度问题的四个基本假设（即单件加工方式、确定性、可运算性和单目标性）不断被突破，关于调度的研究重心已逐渐由经典调度问题移向新型调度问题。本书要重点讨论的半导体制造...