本书为高等工科院校“精密仪器设计”课教材，对与精密仪器设计有关的基本理论和方法及微型机电系统作了较全面系统的论述，荟萃了现代精密仪器设计的有关资料和科研成果，反映了该学科领域的当代发展水平。 全书共分11章，包括现代精密仪器设计概论、精密仪器总体设计、精密仪器设计的精度理论、精密机械系统、微位移技术、光学系统设计、定位与测量系统、瞄准与对准系统、自动调焦系统、精密机械伺服系统设计、微型机电系统。 本书适用于测控技术与仪器、光学工程及机电类专业大专院校师生和从事仪器科学与技术及机电类研究、设计、制造、调修的工程技术人员学习和参考。

仪器仪表是认识世界的工具, 是人们用来对物质(自然界)实体及其属性进行观察、监视、测定、验证、记录、传输、变换、显示、分析处理与控制的各种器具与系统的总称。它的研究内容是信息的获取、信息的处理以及信息的利用。仪器仪表发展至今已成为一门独立的学科即仪器科学与技术,而现代精密仪器则是仪器学科与技术的一个重要组成部分。 当今仪器科学技术最引人注目的发展是在生物、医学、材料、航天、环保、国防等直接关系到人类生存和发展的诸多领域中，研究的尺度深入到介观 (纳米 ) 和微观 ；仪器的研制和生产趋向智能化、微型化、集成化、芯片化和系统工程化；利用现代微制造技术 (光、机、电) 、纳米技术、计算机技术、仿生学原理、新材料等高新技术发展新式的科学仪器已成为主流，为精密仪器设计提出了新的研究课题。 随着科学技术的进步,特别是微电子技术、宇航工业、材料科学、生物工程等领域的发展,为精密仪器提供了广泛的研究领域，精密仪器已进入亚微米、纳米级的新时代。为适应科技发展的需要,赶上世界科技进步的步伐,提高我国精密仪器的水平,本书从实际出发,参照全国精密仪器设计的教学大纲编写而成。书中总结了编著者长期的教学经验与科研工作成果,荟萃了有关现代精密仪器设计理论和成果,着力反映这一学科领域的当代发展水平,能使学生充分了解和掌握精密仪器的学术动态和最新成就。同时力图做到概念清楚、深入浅出,对与精密仪器设计有关的共同性理论和方法,进行了系统地、全面地阐述。每章都有设计实例和习题，目的是便于学生自学并启发学生的创造性。 “现代精密仪器设计”是以设计为主的专业课程。其目的是使学生综合运用基础理论知识,...